⚙️ 薄膜与刻蚀工艺
职场英语 · 半导体设备 · 共 30 个核心词汇 · 5 条场景例句
词汇表
- deposition /ˌdepəˈzɪʃn/ n. 沉积，镀膜；沉积作用；证词
- etch /etʃ/ v. 刻蚀；蚀刻；腐蚀
- plasma /ˈplæzmə/ n. 等离子体；血浆
- chamber /ˈtʃeɪmbər/ n. 腔体，反应腔；房间；议院
- vacuum /ˈvækjuːm/ n. 真空；吸尘器；真空的
- pressure /ˈpreʃər/ n. 压力；压强；施压
- gas /ɡæs/ n. 气体；燃气；毒气
- flow /floʊ/ n./v. 流量；流动；流程
- temperature /ˈtemprətʃər/ n. 温度；体温
- rate /reɪt/ n./v. 速率，速率值；比率；评价
- recipe /ˈresəpi/ n. 工艺配方；食谱；秘诀
- step /step/ n./v. 步骤；台阶；步伐
- ramp /ræmp/ n. 爬坡，升降温；斜坡；匝道
- stabilize /ˈstebəlaɪz/ v. 稳定，使稳定；稳固
- seasoning /ˈsiːzənɪŋ/ n. 腔体预处理，seasoning；调味；历练
- particle /ˈpɑːrtɪkl/ n. 颗粒；粒子；质点
- drift /drɪft/ v./n. 漂移；漂流；偏移
- target /ˈtɑːrɡɪt/ n./v. 目标值；靶；目标
- thickness /ˈθɪknɪs/ n. 厚度；浓度；层
- film /fɪlm/ n. 薄膜；电影；胶卷；拍摄
- stress /stres/ n./v. 应力；压力；强调
- oxide /ˈɑːksaɪd/ n. 氧化层，氧化物
- metal /ˈmetl/ n. 金属层，金属；金属的
- spin /spɪn/ v. 旋涂，旋转；自旋；纺
- bake /beɪk/ n. 烘烤；烘焙；烤
- develop /dɪˈveləp/ v. 显影；开发；发展
- strip /strɪp/ n./v. 去胶，剥离；条；剥去
- clean /kliːn/ adj. 清洗；干净的；打扫
- rinse /rɪns/ v./n. 漂洗，冲洗；漱口
- dry /draɪ/ adj. 干燥，吹干；干的；使变干
场景例句
- The etch rate is drifting, so check the chamber seasoning first.刻蚀速率在漂，先查一下腔体的预处理状态。
- Pressure and gas flow have to stabilize before the run starts.开跑之前，压力和气体流量必须稳定下来。
- Thin film stress can crack the wafer in the next step.薄膜应力会在下一步把晶圆弄裂。
- Spin the resist evenly, then bake it before exposure.光刻胶要旋涂均匀，曝光前先烘烤。
- Strip the resist completely, or the next layer will not stick.光刻胶必须去干净，否则下一层粘不上。